几乎所有现代光源中都要用到氪气、氖气、氙气等氦族气体，氙气有极高的放光强度，用氙气充填的灯有碘灯、弧光灯、闪光灯、影院放映灯、空间模拟灯等。氙气是1958年开发的高压氙气弧光放电灯，分为长弧氙灯、短弧氙灯和脉冲氙灯，用氙气填充的长弧氙灯，其光谱与日光非常接近，俗名“小太阳”，此种氙灯穿雾能力特别强，常用于车站、码头和广场照明。“短弧氙灯”的色彩类似于中午的日光，色温高(5600K)，使用方便，是目前理想的人造“太阳灯”用于广场、街道、电影放映和舞台照明。“脉冲氙灯”，是一种在很短时间内发光的光源，常称之为“闪光灯”，就是利用氙气脉冲放电而发光，这种小氙灯广泛用于摄影。

稀有气体是氦、氖、氩、氪、氙等气体的总称。这些气体在生产和科学研究中，应用也比较广泛。

由于稀有气体一般不与其他物质发生化学反应，在一些工业生产中，常常用它们作保护气。例如，用电弧焊接火箭、飞机、轮船、导弹等用的不锈钢、铝或铝合金等时，可以用氩气来隔绝空气，防止金属在高温下跟其他物质起反应。还可以把氩气和氮气混合充入灯泡里，使灯泡经久耐用。由于氦气比空气轻，又不会燃烧，现在已用它代替氢气充填气球、气艇。氦气与氧气混合制成人造空气，可供潜水员呼吸。

稀有气体在电光源中有特殊的应用。在灯管里充入氖气的氖灯，通电时发出的红色光，能透过浓雾，可用作航空、航海的指示灯。在灯管里充入氩气的氩灯，通电时发出蓝紫色光;在灯管里充入氦气的氦灯，通电时发出粉红色光;在不同材质的玻璃灯管里充入不同含量的氦、氖、氩的混合气体，就能制得五光十色的霓虹灯。在灯管里充填少量的汞和氩气，灯管的内壁涂上荧光物质，通电时就能发出近似日光的可见光，所以叫日光灯。充填氙气的高压长弧灯，通电时能发出比荧光灯强几万倍的强光，因此叫做“人造小太阳”，可用于广场、体育场、飞机场等照明。

氖气、氪气、氙气还可用于激光技术。